YoungChip产品中心

型号

URE-2000/35L

URE-2000/30L

URE-2000/34L

曝光面积

4英寸

110mm×110mm

110mm×110mm

曝光波长

进口LED 365nm

分辨率

0.8μm-1μm

1um

0.8μm-1μm

对准精度

±1μm

±0.8μm

±0.8μm

样品尺寸

最大4寸

样品厚度

0.1-2mm

0.1-3mm

0.1-6mm(定制最大50mm)

曝光模式

数字设定对准间隙和曝光间隙

数字设定对准间隙和曝光间隙

数字设定对准间隙和曝光间隙

特殊功能

具备压印模块接口，

也具备接近模块接口

对准位和曝光位双工位工作， 双工位伺服电机自动切换

可执行曝光模式：真空接触、

硬接触、压力接触、接近式

最大胶厚

400μm(SU-8胶)

光源平行度

2.5°

2.5°

2°

曝光能量密度

>40mW/cm²

光照不均匀性

≤2.5%(100mm范围)

≤2.5%(100mm范围)

≤2%(100mm范围)