规格型号：URE-2000/35
品号：10102070001
辅件：含空压机、真空泵
交付周期：20日内（国产）
基本参数
技术特征
效率高，操作傻瓜型，自动化程度高
可靠性好，演示方便
曝光面积
4英寸
曝光波长
365nm
样片尺寸
直径f10mm-- f100mm
厚度0.1mm--5mm
曝光方式
定时（倒计时方式）和定剂量
显微镜
双目双视场对准显微镜
外形尺寸
L1200mm × W900mm × H1750mm
配置
（1）曝光头
（2）对准工件台
（3）对准显微镜
（4）电控系统
（5）气动系统
（6）其他附件：真空泵一台、空压机一台、管道
（7）技术资料
